沈宏骏，吴 杰，陈 昕，徐先亮

(南京林业大学机械电子工程学院，江苏 南京 210037)

近年来，智能机器人技术蓬勃发展，其引申出的触觉传感器研究也随之发展。触觉传感器力求模拟人类皮肤性能，将物理信号或无接触的信号(光信号、热信号等)转化为电信号，使机器人实现对外部的感知[1-2]。现如今，触觉传感器已经有了一定的成果[3]。按照测量方法，触觉传感器主要分为电容式、压阻式以及电感式三种。

电容式触觉传感器一般由中间介质层以及上下两个电极层组成，上下电极层分别连接一根导线，用以测量电容变化。当电容式传感器受到外力作用时，中间的介质层会发生形变，使得两电极层之间的间距以及正对面积发生变化，进而改变传感器的电容值[4-5]。压阻式触觉传感器是敏感材料受到外力作用时产生压阻效应，使电阻发生变化，压阻效应是指材料受到应力作用时电阻率发生变化的现象[6]。电感式触觉传感器的工作原理是将非电量(压力、位移等)通过电磁感应转化为电流或电压的变化量[7-10]。

台湾国立成功大学制作出一种三维触觉传感器，该传感器基于硅压阻效应，以四个硅悬臂梁的形变测定出电阻与三维力的变化关系[11]；法国巴黎综合理工学院制备出一种三维电容式传感器，该传感器采用上下叉指电极结构，构造出四个电容器，通过测定上下极板的有效面积以及间距变化，得到电容与三维力的变化关系，具有较高的灵敏度[12]；……