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专利名称:一种基于钛片表面磁控溅射二硫化钼生物功能涂层的制备方法

2021-04-04

中国钼业 2021年1期
关键词:磁控二硫化钼磁控溅射

专利申请号:CN201811120636

公开号:CN109112474A

申请日:2018.09.26

公开日:2019.01.01

申请人:湖北大学

一种基于钛片表面磁控溅射二硫化钼生物功能涂层的制备方法,包括如下步骤:(1)对钛片表面进行碱热处理;(2)通过磁控溅射系统在钛片表面溅射二硫化钼涂层。其优点是:使用磁控溅射系统可在钛片表面形成均匀的二硫化钼涂层;且磁控系统的工作气压、沉积时间、沉积速率等的设置,可有效控制二硫化钼图层的形貌及厚度;本发明设备投入少、实施难度小,制备方法简单易行,并且对环境并无太大影响。

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