余小玲，郭坤山，魏亨丽，夏 露，刘 兵，彭小红，唐 朝

（重庆川仪自动化股份有限公司，重庆 400702）

引言

高精密电阻合金箔材具有高阻值、高精度、耐蚀耐热性好、性能稳定等优点，是生产高精密金属箔电阻、电阻应变传感器的关键基础材料，其在电路中主要用于分流、限流保护、测量电路等，也可用于时间电路元件和应力敏感传感器等[1]。国外对高精密电阻合金的研究始于19世纪末，在20世纪40年代到60年代中期，开发了镍铬改良型合金。我国从20世纪70年代开始引进生产[2]。随着相关产业和技术的发展，对精密电阻的电阻温度系数、功率系数、长期稳定性、抗静电能力、热电势、噪声等参数要求越来越高。为了达到更大阻值、更高功率及散热要求，对合金带材厚度要求越来越薄，合金箔材一般要求厚度小于0.05 mm，公差控制在±1.0 μm。

1 精密箔材电阻行业应用现状

合金电阻率是表征合金导电性能的重要物理量，合金电阻值主要与合金的电阻率和材料的尺寸相关。精密箔材电阻行业使用时重点是考虑电阻值的均匀性以及调阻时的效率。因此，一方面，改良冶金质量，以提高电阻均匀性；另一方面，合金箔材的尺寸公差波动越小，电阻公差一致性越好，调阻效率越高，电阻器的精度和成品率越高。

2 箔材厚度尺寸测试

箔材的尺寸测量方法主要有直接测量法和间接测量法。根据行业生产现场，需研究一种方便快捷，满足精度要求的测试方法。

2.1 重量法

重量法的基本原理是称取已知面积和密度的箔材试样，通过密度与体积的关系来测定厚度尺寸[3]。……