武警士官学校 黎金睿 金景怡

蚀刻技术是指在半导体制造工艺中，在适宜的温、湿度环境下，利用化学溶液或者等离子体，对半导体表面选择性去除的技术。半导体蚀刻机台则是进行蚀刻工艺的设备，为其提供合适的环境。基于此，本文先探讨此类温湿度监控系统必要性，再分析目前国内外研究状况，最后对整个系统进行介绍，以供相关工作人员参考。

半导体是指常温下导电性能介于导体和绝缘体之间的材料，半导体目前在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用。半导体既可作为导体也可作为绝缘体，正是由于它的这种特性，使得其在芯片领域广泛应用，尤其是在电子领域高速发展的当今时代。半导体材料作为集成电路的基础材料，集成电路的快速发展离不开半导体技术发展的支持。

1 半导体蚀刻机台温湿度监控系统的必要性

在集成电路制造过程中常需要在晶圆上定义出极细微尺寸的图案，这些图案主要的形成方式，乃是藉由蚀刻技术将微影后所产生的光阻图案忠实地转印至光阻下的材质上，以形成集成电路的复杂构架。通俗的讲，蚀刻技术就是对半导体的表面选择性去除的技术，如果没有半导体蚀刻技术，将不会出现集成电路的高速发展，所以说，蚀刻技术是半导体制造中不可或缺的部分。蚀刻技术主要包含以下两种方法：

干法蚀刻，其工作原理是通过带电粒子和其他等离子体去除待蚀刻薄膜，所以要将机台的湿度控制在一定的范围内。……