北京京东方显示技术有限公司 党亮英 徐习亮 包远福 王 丹 邱锦堂 谷洪垚

液晶产品的质量会受到关键质量特性的影响，稳定的过程质量特性能提升产品品质。监控过程质量特性是否稳定，要以过程特性的生产特点、过程本身的能力，构建合适的过程监控体系，过程监控以报警准确为第一要义，既不能操之过急，采用过于严格的方式导致报警太多，影响正常生产；又不能过松，过程已发生偏移，却未及时报警。本文针对TFT-LCD生产过程的特定应用场景，提出适用的计算控制限的方法：批次控制图法。以趋势化的理念，数据驱动，内循环更新，用历史数据识别未来批次差异，预防批次性不良，提升过程稳定性。

SPC是统计过程控制，统计（Statistical）：利用统计方法帮助我们分析和改进过程；过程（Process）：SPC适用于有计划的、且重复批量生产的过程；控制（Control）：观察产生的变异和过程的变化，寻求根本原因，避免今后产生类似的现象。SPC的原理是应用统计技术对过程中的各个阶段进行评估和监控，从而达到改进和保证产品质量的目的。SPC的组成包括①控制图：分析过程的稳定性，对过程存在的异常因素进行预警，从根本上预防和减少不合格品的产生；②过程能力分析：分析稳定的过程能力满足技术要求的程度，对过程质量进行评价。控制图是对过程质量特性值进行测定、记录、评估，从而观察过程是否处于控制状态的一种用统计方法设计的图。它能够直观的看到产品质量特性的变化。……