申惠娟，翁占坤，陈星源，邓锂强，韩太坤，祁玲敏，赖国霞，宁土荣，马黎政

(1.广东石油化工学院理学院，茂名 525000；2.长春理工大学，国家纳米操纵与制造国际联合研究中心，长春 130000)

0 引 言

图1 激光诱导向前转移装置示意图

随着20世纪60年代中期微电子技术的发展，光刻技术、丝网印刷、柔版印刷技术等满足了现代生产对柔性电子或生物印刷等方面的需求，而在加工过程中，必须借助模板、滚轴或丝网等设备，加大了制作成本，尤其对于原型制造、低批量生产需求和个性化功能商品的制作等，造成一定的资源浪费。随着当前数字化生产技术的出现，以及对制作工艺快速灵活的需求，激光直写技术(LDW)应运而生[1]。与传统印刷技术不同的是，LDW能够按照预先设定好的程序进行各种图案加工，从而更好地适应数字化技术的需求。其中，喷墨打印是当前应用最广泛的器件加工直写技术之一，具有高分辨率和控制灵活等优点[2]。然而，该技术对油墨流变性质的要求较严格，一定程度上限制了它的使用范围。一方面，对于特定打印头，适合的墨汁黏度范围太窄，导致价格比较昂贵；另一方面，也限制了墨汁中的悬浮粒子尺寸，对一些功能材料的加工造成一定的局限。同时，一些在电子领域中具有潜在应用价值的纳米结构材料如纳米线、纳米纤维和纳米管等，由于受分散体的尺寸限制，很难通过喷墨打印技术进行加工[3]。其他直写技术，如蘸笔光刻或注射器直写技术可以应用于某些特殊领域，但由于打印速度较慢，无法应用于大规模工业生产[4-5]。……