袁晓虹，王一晴，周文艳，甘建壮, ，陈国华，康菲菲，毛 端，毕勤嵩

(1. 昆明贵金属研究所 贵研铂业股份有限公司，昆明 650106；2. 贵研检测科技(云南)有限公司，昆明 650106)

现代扫描电子显微技术是一种分析先进显微结构特征的有力工具。电子背散射衍射技术(EBSD)融合了传统意义上的晶体学分析和显微组织的研究方法，实现了对晶体材料大面积区域的晶体学取向信息的逐点式快速标定，并对微观组织结构和微区织构进行重构分析，在材料科学研究领域得到了广泛应用[1-8]。与透射电子显微技术(TEM)的取向分析相比，EBSD 具有测试面积大、测试区域可选择性强、数据采集速度快且制样更为简单等优势。而相较X射线衍射(XRD)取向及织构分析，EBSD 技术可将晶体结构、取向信息和微观组织形貌相对应，数据呈现方式更为直观[7-9]。近年来，聚焦离子束(FIB)技术在微观结构剖析领域发挥了重要作用，其具备纳米图形加工、离子束通道衬度成像、精准定位截面制备、TEM 样品制备、连续截面加工成像(3D 成像)以及微电子元器件线路编辑与芯片修复等功能[10-12]。将FIB 技术与EBSD 技术相配合，不仅能够完成对超细样品的制备加工，同时可对样品截面进行微观精细结构分析，结合3D 连续截面加工技术还可以将样品的二维结构信息以原位三维结构信息的形式呈现。

贵金属超细丝材常用于精密电子功能器件的关键位置，但由于其加工成品尺寸微细(φ＜ 0.1mm)传统技术无法表征超细丝材的组织结构和晶体取向，通常采用合金的片材组织来间接推断材料的微观组织演变规律。……