周煦航，郭 涛，梁晓瑞，谭秋林，甘 宇

(仪器科学与动态测试教育部重点实验室，中北大学，山西太原 030051)

0 引言

随着科技的进步，工业的快速发展，越来越多的行业对于耐高温器件的需求大大提高，尤其是在航空航天、汽车行业、冶金等领域中。声表面波器件具有无线无源的特性近些年得到了广泛的研究[1]。声表面波广泛应用于温度[2]、压力[3]、应变[4]环境的测量。现在我们选择能够承受恶劣条件的材料，能够在1 000 ℃的高温环境下性质不发生变化。

硅酸镓镧(LGS)作为新型压电材料比同类型石英大2～3倍的机电耦合系数，熔点为1 470 ℃，很适合制作温度稳定性好的声表面波器件。Pt作为贵金属，有较高的熔点(1 773 ℃)，并且具有最大的化学惰性，很适应高温环境。Pt因为高温下良好的电导率成为高温环境下电极材料的优选。但是，Pt电极长时间工作在800 ℃以上高温环境中时会发生团聚、结块等现象[5]。根据文献[6]报道，受制于沉积条件的约束，制备的金属薄膜各原子移动受限，这使得薄膜处于一种非平衡的结构。因此，当温度足够高时，金属薄膜就会结块形成不连续的颗粒，导致叉指电极的断裂，从而器件失效。

随着对耐高温材料的研究深入，以Pt、Ir等贵金属材料因为其强度高、耐高温等优良性能比传统的Au、Al等电极材料有更高的熔点而被广泛应用于高温环境中[7]，Pt金属对其他元素的亲和力非常弱，同时对氧化物基底的附着力也比较低，通常需要在Pt与基底之间加上一层粘附层来解决这一问题。……