芯片废酸资源化处理找到新出路 中芯国际年减少废硫酸处理费530万元
2021-01-23澎博钛白粉
上海化工 2021年5期
经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司与上海澎博钛白粉有限公司两年的奋力攻关,集成电路产业芯片生产过程中产生的废硫酸处理找到了一条资源化利用的新路径。此举不但解决了芯片废酸对环境的污染,并且大幅降低芯片生产成本,提高了中芯国际在芯片国际市场上的竞争能力,更重要的是为上海打造集成电路产业高地,打破西方国家对高端芯片市场垄断,坚决回击国际市场对我国发展芯片的打压增添了重要砝码。
集成电路行业是国民经济支柱性行业之一,是信息技术产业的基础和核心,对经济建设、社会发展和国家安全具有重要战略意义和核心关键作用,其发展程度是衡量一个国家科技发展水平的核心指标之一。为解决集成电路行业和芯片产业的“卡脖子”问题,近年来,上海先后启动了华力二期、中芯南方、中国电子特色工艺等一批集成电路重大项目建设,逐步成为国内集成电路产业链最完整、产业集中度最高和综合技术能力最强的标杆区域。
然而,芯片在生产过程中会产生大量的废硫酸,不仅会对环境造成污染,而且处理成本奇高,中芯国际北京厂的废酸处理费用每吨高达4 000~5 000 元,使得我国芯片成本居高不下。“十四五”期间,上海的集成电路产量将快速增长,需处置的废硫酸量也将随之增加,据统计,2020年废酸12 500 t,2021年28 000 t,到2022年上海芯片企业产生的废硫酸高达6万t,2025年达到10万t 以上。废酸问题不解决,将在一定程度上削弱我国芯片在国际市场上的竞争能力。……
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