◎田思野 刘作淋 肖丹 胡小强 周路＊

透明电子学由于其优异的电学性能在下一代高性能平板显示应用中受到了广泛的关注和研究。在显示应用中，薄膜晶体管(TFT)作为控制像素的基本单元发挥着重要作用。其中，基于氧化物的TFT具有高迁移率，良好的透明性，优异的均匀性和较低的加工温度，已成为有前途的候选材料，并逐渐取代了常规的非晶态和多晶硅TFT。本论文简要介绍了TFT器件的结构和工作原理，讨论了氧化锌基TFT的当前问题和挑战。

引言：透明氧化物半导体具有巨大的潜在应用，例如太阳能电池，固态传感器，平板显示器，智能窗，电致变色器，可穿透性的电子设备。通过使用高性能透明氧化物半导体，可以实现具有更高像素密度(更高分辨率)和更高刷新频率的透明显示器。此外，可以通过使用透明氧化物半导体来构建节能显示器，这使人可以像玻璃一样直视面板，并且由于消除了背光，其功耗也减少了90%。因此，氧化物电子器件是非晶硅和有机半导体的有希望的替代品，可用于构建更可靠的薄膜晶体管和更复杂的电子电路，从而应对超高分辨率，超大尺寸，低成本和环保的电子产品的挑战。

一、TFT器件的结构和工作原理

1.TFT器件的结构。TFT是三端的场效应器件，其工作原理在操作和组成层方面与其他场效应器件非常相似，例如MOSFET。这三个端子分别称为源极，漏极和栅极。当在MOSFET的栅电极上施加电压时，载流子会注入到电介质/半导体界面附近，与栅电介质和半导体一起形成平行板电容器结构。……