李瑶

什么是光刻机

简单来说，光刻机就是以光作为刀片，在晶圆上刻画芯片图纸的机器，是芯片生产加工最基础也最关键的一环。

中国光刻机崛起的故事，则要回到20年前。2001年2月27日，中科院院士、北京大学微电子研究院院长王阳元作了一场关于“微电子科学技术和集成电路产业”的报告，分析我国发展微电子和集成电路产业的必要性、紧迫性、措施和建议。当时主持会议的国务院领导在听取报告后，随即提出：集成电路是电子产品的“心脏”，是信息产业的基础，必须高度重视。

很快，光刻机成为“十五”期间微电子装备首要攻关项目;转年，光刻机被列入国家863重大科技攻关计划，在科技部和上海市政府共同推动下，承担攻坚项目任务的上海微电子装备有限公司（下称“上海微电子”），也正式成立。

公司刚成立不久，踌躇满志的总经理贺荣明就带着技术团队去欧洲、美国等地开展技术方面的合作。但当贺荣明提出“中国人也要做光刻机”时，外国专家的眼神里除了惊讶，还多多少少带着对中国科技人员的不屑和蔑视，甚至有一名欧洲的高级专家告诉他：“就是给你们全套图纸，你们也做不出来。”

外国专家的话也并非全是虚言。一台光刻机由数万个部件组成，对技术、精细度、速度的要求高到令人难以想象，就连贺荣明也不得不承认：“相当于两架大飞机从起飞到降落，始终齐头并进。一架飞机上伸出一把刀，在另一架飞机的米粒上刻字，不可以出差错。……