拜晓锋，程宏昌，何开远，韩 坤，杨书宁，李军国，陈旭浪，党小刚，王 磊

（1. 微光夜视技术重点实验室，陕西 西安 710065；2. 昆明物理研究所，云南 昆明 650223；3. 陆装驻昆明地区第二军代室，云南 昆明 650114）

引言

微光像增强器是能够在夜间星光甚至更低照度条件下完成目标探测与识别的一种电真空成像器件，它是微光夜视系统的核心组件[1-5]。在微光像增强器的相关科研活动中，通常采用多次重复测量的方式来提高性能参数的测量精度[6]，但重复测试会增加测试耗时，影响大批量快速测试效率的提高。单次测量能够适应产业化批量性测试，已在微光像增强器大批量检测活动中得到了应用。

积分灵敏度是微光像增强器的一个重要特性参数，它直接影响着微光像增强器的光电转换和能量转换效率[1-3]。本文以积分灵敏度参数为例，着重对其单次测量时的误差情况进行了分析，并探讨了批量化快速测试形式下微光像增强器积分灵敏度单次测试误差的控制方案，可为微光像增强器批量化快速测试提供参考和依据。

1 积分灵敏度测试原理和方法

1.1 测试原理

微光像增强器积分灵敏度的测试原理是[1, 7]：给阴极和相邻电极之间施加规定的直流电压，用色温为 2 856 K±50 K 的光源照射阴极的规定面积，分别测量像增强器的输出光电流和入射光通量，输出光电流和入射光通量之比即为阴极的积分灵敏度。

1.2 测试方法

依据微光像增强器积分灵敏度测试原理，可按照如下方法进行积分灵敏度测试[8-10]：