秦 艳，韩占锁，林利红，汪建刚，李 杰，王 兵，杨鸿儒

（1. 西安应用光学研究所，陕西 西安 710065；2. 北方科技信息研究所，北京 100089）

引言

近年来随着激光测距、预警、医疗，尤其是微弱激光信号探测技术的发展，皮焦、飞焦级激光能量的探测愈来愈重要[1]。目前能够被准确校准的激光能量计其测量下限值已达到1 000 fJ，但低于1 000 fJ的校准，国内报道较少。为了解决飞焦量级范围内激光能量计的校准问题，研制了一种飞焦级激光能量计校准系统[2]，该系统采用固定和可变二级衰减机构相结合的方式[3-4]，将飞焦级标准激光光源的能量值传递到被校能量计上，实现了对响应波长1 064 nm、脉宽5 ns～1 μs的飞焦级激光能量计的校准[5]，使飞焦级激光能量计的量值处于受控状态。

1 系统组成

飞焦级激光能量计校准系统如图1所示。校准系统由纳秒脉冲微能量激光器、激光器电源、激光器控制器、分束器、监视能量计、参考能量计、半波片、起偏器、固定衰减器、扩束镜组、反射式可变衰减器、耦合透镜组组成。

激光器输出能量为1 nJ～10 nJ、脉宽10 ns～100 ns的激光，经半波片、起偏器后形成线偏振光[6]，经固定衰减器衰减，再经扩束镜组和反射式可变衰减器后，形成飞焦级能量的脉冲激光输出[7]。监视和参考能量计用于实时监测输出激光能量的变化并确定分束比，固定衰减器在较宽能级范围内对光信号进行衰减，反射式可变衰减器的旋转角度为确定值时，其透过率值也唯一确定。根据此特点，可以在一定的激光能量范围内，获得更加精准的激光能量[8]。……