谢凯宏

摘要：预测性维修是近些年来维修领域当中主要研究的问题之一，本文将从通常的预测维修论点出发，分别比较了修复性维修，预防性维修，还有预测性维修之间存在的优点和缺点，并且通过维修半导体设备进行了一些预测性维修措施的论述。半导体再进行生产的过程当中都是以流水线的方式进行生产的，如果在生产的过程当中其中一台生产设备出现了问题那么将会给整个生产流程带来严重的损失。因此这就需要对一些重点用到的设备，进行监控和预知性的维修，从而将机器故障带来的经济损失给有效避免。预测性维修，主要就是将状态作为主要依据的一种维修方式，在生产设备在运行的过程当中，对设备进行定期的状态监测和故障诊断，判断出装备整个所处的状态，预测未来这个设备会朝着什么样分方向去发展等等。预先制定一些维修计划，保证机器能够在运作的过程当中处于正常的状态。因此可以看出半导体设备的预测性维修对于设备维修来说具有非常重要的意义。

关键词：半导体设备;预测性维修;

随着社会的进步和科技水品的不断提高，设备制造技术逐渐朝着高科技，高集成度的方向去发展，因此这也给设备维修带来了前所未有的挑战，伴随着维修科学的不断发展，预测性维修也逐渐地成为了当今一种较为受欢迎的维修方式。预测性维修相对于修复式维修和预防性维修来说具有着各种各样的优点，并且预测性维修的发展前景更为广阔。

一、维修方式的发展

维修方式如果按照不同的分类方式具有着不同的维修名称，如果按照设备状态和维修过程中的时机来划分的话可以将维修分为故常前维修和故障后维修这两种维修方式。如果按照维修依据的不相同则还可以分为，预防性维修和预测性维修这两种。修复性维修又被叫做故障后维修，就是在机器出现故障之后然后对机器进行的维修。这种维修方式的依据主要就是看设备是否完好，在设备局部或者是全面出现故障之后然后再让其恢复到原本状态的维修方式，这种维修方式也可以被叫做非计划性维修;预防性维修主要指的就是对设备进行定期定时间的维护和保养，按照规定的时间对设备进行停机检查，更换设备当中要出现故障的零件防止设备在真正的应用过程中出现各种各样的问题。同样也方式设备发生损坏从而为生产带来严重的问题。这种维修方式的进行在维修的过程当中主要所采用的就是计划维修和定期维修;最后一种就是本文提到的预测性维修，预测性维修主要就是将设备运行的状态作为维修的依据，在设备在生产运行的过程当中，对设备当中一些重要设备进行监控个故障诊断，判定机器运行的状态，预测装备的状态，以及未来运行过程中的发展趋势。将这些作为设备预测性维修的依据，防止机器出现故障，并且预先设定预测性维修的计划。确保机器能够处于正常的运行状态。

二、预测性维修的意义

预测性维修对于整个设备管理来说具有非常重要的意义，也是设备维修过程当中必不可少的一个环节，虽然预测性维修在整个设备维修过程当中不能够将定期维修和预防性维修工作代替，但是如果对设备进行一个正常的监控这样就能够有效的避免在设备运行过程当中由于故障问题带来的经济损失。预测性维修尤其对于流水线作业的半导体来说更加重要，因为如果流水线作业当中有一个设备出现故障那么将会导致整个流程都停滞，这样就给半导体生产企业带来严重的经济损失。因此这就必须在设备运行的过程当中定期的进行设备更新，并且对设备当中一些关键的设备进行监控，确保设备能够处于一个正常的运行状态，对设备进行预测性维修这样就能够大大地降低故障发生的概率，避免由于设备故障出现的重大事故。除此之外在现代设备运行的过程当中对设备进行监控也是当代设备在维修过程中的必然需求，能够有效地降低因此造成的各种经济损失，也能够有效地降低在设备维修过程中所产生的维修费用问题。因此可以看出对设备进行预测性维修对于整个生产企业来说具有非常重要的意义，不单单能够让企业处于正常的运行状态，还能够让企业的经济效益得到保障。

三、半导体设备的维修管理模式

半导体设备在维修和管理的过程当中主要分为四种方式，第一种就是以预防为主，最大程度上减少设备出现故障的概率;第二种就是对设备建立起一种较为完善的维修标准文件，设备指示技术标准，设备保护标准，维修标准等等，这些都将成为预防性维修作业的基础和根据;第三种就是建立起预测性维修的管理体系，这种维修方式主要强调的就是基层管理模式，提倡信息反馈，对设备进行更加高效的管理;最后一种就是要有明确的管理目标，目标是企业生产的动力，树立正确的服务关键，坚持对设备进行全面安全的管理模式也是半导体设备管理和维修过程中非常重要的环节。

四、预测性维修方式在线监控方案

在对设备进行监控管理的过程当中所需要监控的重点就是设备的参数，例如一些温度，压力，真空条件，电压，电流等等一些设备当中的参数，这样就能够让维护人员对设备进行精准的把控从而能够防止设备出现一些列安全事故。预测性检测方式主要就是一设备管理状态和系统作为主要的支撑条件，系统为整个设备提供出较为完善的设备材料，设备运行中的状态，还有检验等各种信息。确保相关的管理人员能够定期对设备进行排查和检验，对设备能够有一个充分且细致的了解。因此可以看出在对设备进行维修的过程当中制定出较为完善的在线监控方案也是非常重要的一步。

五、半导体设备的预测性维护

预测性维护主要所依据就是设备运行的状态，强调对设备进行诊断和故障监测，所指的就是能够定期的对设备进行检测和检查，根据设备当中排查出来的结果然后判断设备在运行的过程当中是否会出现异常的状态，在定期的对设备进行维修和维护。这样就需要对每一台机器设备进行记录，并且记录每一台机器出现故障的原因，以及在出现故障之后才去的措施，生產的时间，生产的设备记录在案，将这些记录的数据作为历史记录，方便在下次进行维修的过程当中能够着重的对这些进行检测。举个例子就是对设备进行这样的检查：

其次就是能够对设备的实时动态参数进行控制，这些动态的参数需要每天都有专业相关的人员定期的进行检查和记录。根据每天巡查的结果，来判断设备故障是否是突然出现。如果在检测当中的参数并没有指示设备出现各种不正常的状态，那么就说明设备正处于正常的运行状态。结合设备故障出现的参数，以及相同环境之下其他设备运行的状态记录下来这样就能够更好的检测出设备内部出现的情况，将维修方案制定出来，并且还能够在进行维修的过程当中采取各种防范措施防止下一次设备安全事故的发生。

结束语

总而言之，上面所提到的检测和维修的方法，都是由人工进行操控和进行，因此这就会导致在进行监测的过程当中常常出现各种不连续的状况，甚至还有可能出现各种各样的参数遗漏，从而影响设备的预测性维修。如果想要对设备实现更好的预测性维修，这就需要在维修的过程当中采用更多的先进技术，以及连续的监测才能够让预测性维修在半导体设备维修过程当中得到更好的应用。并且对半导体进行预测性设备维修能够有效地降低生产过程当中出现的各种事故，还能够有效的避免企业的经济损失。因此可以看出预测性维修对于半导体设备来说具有非常重要的意义。也是当今维修过程中的重要维修方式之一。

参考文献：

[1] 罗欣.半导体设备预测性维修技术分析[J].中国设备工程，2017（17）：68-69.

[2] 陈宛峰，王奕.半导体设备预测性维修技术[J].电子与封装，2012，12（04）：42-44.

[3] 曹政才，邓积杰，刘民，王永吉.基于改进自适应模糊推理系统的半导体制造系统瓶颈设备预测方法（英文）[J].Chinese Journal of Chemical Engineering，2012，20（06）：1081-1088.

（作者单位：北京北方华创微电子装备有限公司）