杨 光，陈 磊，胡晨辉，张正宇，朱文华

(1. 南京理工大学 先进发射协同创新中心，江苏 南京 210094；2. 南京理工大学 电子工程与光电技术学院，江苏 南京 210094)

1 引 言

液晶空间光调制器是光信息处理中的重要元件，利用它的振幅和位相调制特性可以实现对光波方向和空间分布的控制，被广泛应用于光束偏转、动态全息、波前校正系统、空间光通信等领域[1-8]。空间光调制器中的液晶盒由两块透明玻璃基片粘合而成[9]，如果玻璃基片的表面面形不好，入射光穿过玻璃基片进入液晶层之前，其波前已经被引入了附加相位，经过空间调制器调制的不再是预期的入射波前，这给处理后的波前结果中带来一定的误差，导致空间光调制器的性能受到影响。因此有必要对液晶盒表面面形进行有效测量。

现有的光学元件检测方法主要是干涉法[10-11]。未注入液晶的空液晶盒结构可以简化为玻璃基片-空气层-玻璃基片的结构。用一般的干涉方法测量液晶盒表面面形时，两块玻璃基片的前后表面和参考光之间、玻璃基片表面两两之间都会产生干涉，导致多表面干涉现象的出现，使用传统的移相干涉测量技术，无法正确解算被测面面形。针对这一问题，国内外研究人员做了大量研究。Groot等人提出了基于加权波长调谐相移的算法[12-13]，通过设计合适的采样窗函数提取待测信号，但该方法只适用于被测平行平板的厚度和干涉腔长度满足一定比例要求的情况下，具有很大的局限性。……