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石墨烯薄膜原子氧剥蚀行为及电阻特性

2020-04-03姜海富张汉宇姜利祥柴丽华

装备环境工程 2020年3期
关键词：薄膜原子石墨

姜海富，张汉宇，姜利祥，柴丽华

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