贺红林，邓传涛，龙玉繁，胡聪睿，冷新龙

(1.南昌航空大学 航空制造工程学院, 江西 南昌 330063；2.江西洪都国际机电有限责任公司，江西 南昌 330063)

0 引言

压电电机是基于逆压电效应实现机电动力转换的新型电动机，具有动力密度大，响应快，运动精密，结构灵活及噪声小等优点，在航空航天、精密加工、生物医学工程等领域具有广阔的应用前景[1-3]。压电电机有旋转型、直线运动型、平面运动型、多自由度型等多种型式。目前，旋转型超声电机已渐成熟，其中的部分技术和产品如行波超声电机技术已实现了产业化并在嫦娥号航天器等高精尖场合得到了应用。直线型电机技术的发展虽然落后于旋转型压电电机，但也推出了数十种的压电直线电机，且有些电机如V型直线电机已达到产品化应用水平[4]。与旋转型和直线型电机相比，平面型压电电机的起步时间较晚且发展速度也较缓慢，因此，压电平面电机技术离广泛的工程应用还较远。但平面超声电机仍因运动方式灵活、应用前景广而受到越来越多的重视。根据平面电机的运动特性并结合压电驱动的精密性，平面电机将在大集成度微电子制造、光纤对接、微装配、扫描隧道显微镜、能束加工、细胞编排、光学工程、遗传工程、超精加工与检测领域得到广泛应用。因此，研究压电平面电机就变得有意义，国内外为此做了不少工作[5-9]，如时运来研制出柱杆平面电机，刘润峰[10]研制出口字型平面超声电机；肖智勇研制出基于H卧板的平面电机；……