杨修杰, 尹保来, 肖 鹏, 刘浩峰

(中国测试技术研究院，成都 610021)

0 引言

随着科技的不断进步，电子技术的应用使智能化和自动化已成为我国人民日常生活的一部分。由于其应用的广泛性，使用过程中如果发生大面积故障将造成无法估计损失，其可靠性要求不断提高。半导体器件作为电子设备的核心，其可靠性尤为重要。但是半导体器件制作工艺复杂性以及其寿命特点(浴盆失效概率)，很难从外观上检测其好坏[1]。特别是对于有大功率输出的电子产品，功率器件在输送功率的同时，器件本身也要消耗一部分功率，这部分功率直接表现在使器件温度升高，当温度升高到一定程度，就会使器件烧坏。器件的生产过程中涉及诸多环节，实际使用过程中在温升作用下难免发生故障，因此在可靠性要求高的场合，应该利用半导体器件的浴盆效应，对驱动器件进行老化筛选，在产品设计生产前针对半导体器件的功能及使用场景进行老化测试，评估其质量，提前将有问题的器件筛选出来，提高电子产品的可靠性。针对MOS管类功率器件，设计了一套极限结温自动老化测试系统，根据MOS管的结温控制输出电流的状态，实现被试MOS管的可靠性测试[2]。

1 测试原理

1.1 老化方法选择

功率器件工作过程中自身消耗的功率直接体现在产生热量，升高结温，如果器件内部结温与外部环境温度存在温差，热量扩散到外部空间，传递过程会有阻力，定义为热阻，热阻与环境温度、结温、和耗散功率有关，具体为：