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电子级二异丙基碲的制备

2019-10-21任丹丹

中国化工贸易·中旬刊 2019年10期

任丹丹

摘 要:本文介绍了一种电子级二异丙基碲的制备过程,先用格氏試剂方法合成二异丙基碲(DIPTe)),第二步将二异丙基碲的粗品浓缩,最后使用定制的含有填料的塔柱,对比多种不同的实验方法,得到一个可靠的、有效的提纯工艺。经过1H NMR(核磁共振波谱仪)和ICP-OES(电感耦合等离子吸收光谱仪)的检测,产品有机纯度≥99.9%,无机杂质总含量≤1ppm,达到电子级(6N)的要求。

关键词:二异丙基碲(DIPTe);格氏试剂;核磁共振波谱仪

二异丙基碲(DIPTe)属于MO源(金属有机化合物)系列产品中的一种,它的化学性质活泼,在空气中易发生氧化,对光线敏感,应在无水无氧环境下避光保存。该化合物是半导体技术重要的原材料,主要作为金属有机化合物气相沉积(MOCVD)工艺中所使用的成膜原料,通常用作CdTe薄膜生长。

制备电子级二异丙基碲(DIPTe)存在很大的不易控制性和危险性,加上其沸点高,导致提纯变的困难。本文重点介绍了DIPTe的合成方法和高效提纯方法,得到6N电子级产品。

1 实验部分

1.1 原料

镁屑:3N,安耐吉公司;溴代异丙烷:99%,阿拉丁公司;四氯化碲:99%,自制;四氢呋喃:98%,杭州化学试剂。

1.2 二异丙基碲的合成

本实验采用经典的格氏试剂法合成二异丙基碲,在惰性气体手套箱中,以7mol的无水THF为溶剂,3mol的镁和2.9mol的C3H7Br反应得到C3H7MgBr;在保持-50~-60℃低温条件下,以C3H7MgBr:TeCl4=4:0.9的比例投料,利用0.65mol的TeCl4和上述格氏试剂反应,得到了0.5mol的DIPTe,产率约达到77%。

反应式为:

1.3 二异丙基碲粗品的分离

在惰性气体手套箱中,用带有刺型分离柱的蒸馏装置,设定冷冻机温度为-10℃±5℃,搅拌速度为200-300r/min,对釜进行加热,常压蒸馏出约400g的THF。……

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