摘 要：扫描电镜与传统的显微镜相比有着下列特点：倍率更高、分辨率更优、景深更大，因此它被广泛用于材料学、半导体器件及地质、生物医疗、考古等领域的研究;也被用于产品品质及生产过程的控制等，是当今最重要的科学研究仪器之一。本文主要分析了扫描电子显微镜的发展现状，并对其市场应用进行了综述。

关键词：扫描电子显微镜;发展现状;市场应用

一、 国内外现状和技术发展趋势

由于电子束撞击试样物质原子的原子核及电子会产生的各种电子信号，对这一系列电子信号进行收集、分析、处理能获取试样的表面形貌及内部构成的很多信息，并根据此原理，人们设计出扫描电子显微镜。

（一）国内外现状

扫描电镜是当今被广泛应用的最重要电子光学仪器之一。自从20世纪60～70年代中叶第一台商用电子显微镜问世以来，英、德、荷、捷、日等国以及中国等相继制造出各种规格的扫描电镜。经过近60年来的不断发展与改进，扫描电镜已成为一种智能化、数字化、多功能的大型电子光学分析仪器产品，不仅能够进行形貌观察记录也能借助于所携带的附件来获取试样的物理、化学信息。

在分辨率指标方面：目前，商用SEM二次电子图像的分辨率已经能够达到亚纳米级别。当今世界上著名的生产厂商有蔡司、FEI、日立、日本电子等，FEI推出的商用扫描电镜采用肖特基场发射电子枪使得二次电子图像分辨率在世界上首先实现了亚纳米级，其后Zeiss也推出了分辨率0.8nm@15kV的SEM;日立推出的冷场发射SEM二次电子分辨率最高可以达到了0.4nm。……