于哲， 陈淑江， 马金奎， 路长厚， 李昊

(山东大学 高效洁净机械制造教育部重点实验室，山东,济南 250061)

超精密加工技术在国防建设与国民经济发展中具有不可替代的作用，它是现代高技术战争的重要支撑技术，也是现代基础科学技术发展的重要保障[1]. 加工误差的产生因素应该与机床本身的加工精度、刀具磨损、热变形等众多因素相关[2]. 迄今为止，提高加工精度的方法有很多，如在数控机床中实行实时补偿控制方法、均化原始误差法、转移原始误差法、分化原始误差法等.

转子的主动控制方面，针对电磁轴承的研究居多，它具有无接触、无摩擦磨损、无需润滑和寿命长等优点[3]，但是同时也存在一些不可忽视的缺点，开环控制、承载力低、成本高. Das等[4]在柔性转子轴承系统中使用电磁致动器对主轴的耦合挠曲-扭转振动进行主动控制. 数值拟合结果显示了该方法的有效性. Gaurav Kumar等[5]提出一种激励为交流电的包含12个节点的径向主动电磁轴承(AMB)不平衡响应控制系统，该系统通过转换AMB极点的激励电流来产生与不平衡力同频但相位相反的旋转力. 吴超等[6]利用超磁致伸缩驱动器控制滑动轴承的轴瓦位置进而改变油膜厚度，以达到控制轴承的目的，并取得了一定的进展. 马金奎等[7-9]提出了通过合成椭圆形运动轨迹的方法，并且对轴承主动控制以达到加工非圆异形孔进行了大量研究. 李昊等[10-11]研发了一种新型的动静压柔性铰链可倾瓦轴承，并……