靳振伟，储成智，谷 森，徐 伟，汝长海,2

(1.苏州大学 机器人与微系统研究中心，江苏 苏州 215021；2.苏州纳米科技协同创新中心，江苏 苏州 215021)

0 引言

随着以半导体材料、微电子、柔性导电薄膜和太阳能电池为代表的行业技术的快速发展，先进的薄膜制备技术成为关键，对这些行业技术的发展起着重要的推动作用。与传统的压力喷涂和静电喷涂相比，压电喷涂使用压电雾化的方式能使雾滴粒径达微米级，压电涂覆法为薄膜制备技术的进一步发展提供了新方向[1]。压电喷涂是利用超声波振动产生的毛细波，对流经超声波换能器工作端的液体进行雾化，产生微米级细小液滴的技术，适用于精确层应用，可以喷涂任何形状的物体，具有涂层均匀，压电雾化喷涂量可控，喷涂质量可靠，能耗低，雾化效率高等优点。压电雾化被广泛应用于印刷电路制备[2]、太阳能光伏电池[3]、TCO导电涂层[4-5]、抗菌涂层[6-7]等方面。

压电喷涂系统的核心部分是压电喷头，目前使用的喷头分为低频和高频[8]两种。高频喷头多用于喷涂量少的精密涂覆中，在工业应用中存在雾化量小，超声换能器的可靠性差、极易产生疲劳断裂、喷头对溶液的粘度要求较高、易堵塞等问题。为满足喷涂效率高、均匀性优异的要求，用途最广的是低频喷头，但目前的低频喷头存在工作效率低，喷雾不均匀、液滴粒径大等缺点。Frangois Lacas等[9]研究了喷头雾化液滴尺寸分布和均匀性等问题的关键参数，其雾化过程中难以同时控制液滴直径、液体流量和液滴均匀性。……