张云鹏， 孟汉堃， 郭 鹏， 郭 丽， 刘文超

(潞安太阳能有限责任公司，山西 长治 046000)

引 言

随着全球工业化的进程不断加快，煤炭、石油等常规能源频频告急，人们将目光纷纷投向了各种可再生能源的利用上。其中，太阳能因其取之不尽、用之不竭，因此，太阳能光伏技术极有可能成为21世纪最有发展潜力的光电技术之一[1-3]。而随着这个行业的高速发展，晶体硅太阳能电池产业链中的大多数制造设备，基本实现了单机自动化水平;设备间机械手自动转送，在线检测，提高了整线生产效率，减少了人工干预，降低了碎片率。扩散是半导体器件制造的重要工序，主要用途是在高温条件下对半导体晶圆进行掺杂，从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布，以便建立不同的电特性区域。在太阳能晶体硅电池制造工艺中，常采用热扩散工艺制备PN结，即，在加热条件下，将V族杂质元素磷掺入P型硅或将Ⅲ族杂质硼掺入N型硅中，扩散制备PN结的质量对于太阳能电池的转换效率有重要影响，是太阳能电池性能的决定性因素之一。该过程会用到高温的扩散炉、石英舟用作承载体。扩散过程主要是通过气体进入炉体，在一定的温度下进行磷源的扩散，而石英舟使用一段时间后，由于磷源也会扩散沉积在石英舟上，需要定时对其进行清洗以及工艺气体饱和，以保证石英舟在生产过程中不会因为吸收气体而导致电池片的方阻异常[4]。饱和过程中会出现尾气管路有白色物质堵塞管路的问题，如图1所示。……