(1) 山东师范大学物理与电子科学学院, 光学与光子器件山东省重点实验室,250358,济南;2) 山东师范大学物理与电子科学学院, 光电功能材料与器件山东省“十三五”高校重点实验室,250358,济南)

1 引 言

在众多的气体检测方法中,电阻式半导体气体传感器具有测量气体种类多，灵敏度高，制作成本低以及制作方法简单特点，一直是研究的重点.SnO2、ZnO、Fe2O3等传统的气敏材料自20世纪60年代以来被许多科学工作者研究，但由于选择性差,不稳定等原因不令人满意.In2O3作为一种气敏材料，与SnO2、ZnO、Fe2O3相比具有较宽的禁带宽度，较小的电阻率和较高的催化活性等特点，因此以其较高的灵敏度和选择性日益引起人们的重视.自1993年以来，国内外对In2O3气敏性能研究开始活跃[1]，特别是2000年以来出现了大量文献报道[2].我国起步较晚最早见于1995年[3]，但近几年来论文的数量及深度也慢慢追赶上来.

本文从研究比较多的几种气体出发，按照气体种类从In2O3气敏材料的制备及性能对近几年国内外有关文献进行评述.

2 In2O3气敏材料的制备及气敏性能

2.1 CO气体传感器一氧化碳是一种无味、无色、有毒和危险的气体，主要产生于化石燃料，由于一氧化碳分子很容易与血红蛋白结合，使血红蛋白丧失携氧的能力和作用，造成组织窒息，严重时死亡.现有的一些CO传感器存在成本高，操作复杂，不稳定，检测浓度极限高等缺点，而In2O3恰好能够克服这一点.

Donato等[4]人利用液相激光烧蚀(LAL)法制备氧化铟纳米颗粒的水溶胶体，然……