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半导体自动测试系统时域反射研究

2019-03-18王娜

卷宗 2019年5期
关键词:测量信号

王娜

早在60年代就产生了时域反射计TDR(Time-Domain Reflectometry)技术。该技术是用来检测沿传输线传播的时间阶跃电压。它用示波器检测来自阻抗的反射,测量输入电压与反射电压比,从而计算不连续的阻抗。TDR是多个英文单词的缩写,包括:Time-Domain Reflectometry-时域反射技术,它是一种对反射波进行分析的遥控测量技术,在遥控位置掌握被测量物件的状况。70年代了解到作为频率函数的网络反射系数的傅里叶变换就是作为时间函数的反射系数。可用网络分析仪在频域测量的数据计算和显示网络作为时间函数的网络阶跃和激冲响应。使在反射和传输中传统TDR能力增加了在频带有限网络进行测量的潜力。在反射模式中网络分析仪测量作为频率函数的反射系数。可把该反射系数看成是入射电压和反射电压的传递函数。反变换将反射系数转换为时间函数(激冲响应)。可用该反射系数与输入阶跃或脉冲的卷积计算阶跃和激冲响应。在传输模式中。网络分析仪测量作为频率函数的二端口器件的传递函数。反变换将该传递函数转换为二端口器件的激冲响应。用该激冲响应与输入阶跃或脉冲的卷积计算阶跃和激冲响应。TDR时域反射技术是测量传输线特性阻抗的主要工具。TDR主要由三部分构成:快沿信号发生器,采样示波器和探头系统。在最终测试生产区域,产品测试包括测试主机(Main Frame)和被测样品。这两部分是由测试接口相连。这个测试接口通常包括测试板,数据线,芯片接口底座,弹簧针等等。……

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