柴栋梁，王文廉,2

(1.中北大学仪器与电子学院，山西 太原 030051; 2.中北大学 仪器科学与动态测试教育部重点实验室，山西 太原 030051)

0 引 言

冲击波压力测试是评估爆炸物毁伤效应的主要手段[1-2]。在某些特殊场合，如测试冲击波对建筑物圆柱面、车辆曲面以及动物等的毁伤效应时，常规传感器有不足之处，比如很难布置在物体曲面。设计一种粘贴型薄膜传感器可以解决该测试难点。

由于柔性传感器具有异于常规传感器的优良性能，在某些领域发挥着重要作用：生物医学方面：针对其韧性好，生物兼容性好的特点研制的穿戴式脉搏检测系统[1]，在仿生学领域，利用柔性传感器研制的感知触、滑觉智能假手[2]，智能仿生皮肤[3]，步态感知系统[4]，用于运动检测的柔性内衣以及可穿戴设备[5-6]。

PVDF是一种性能优异的压电材料，全称偏聚氟乙烯，其强压电特性于1969发现[7]，经过多年研究，已成为最具潜力的聚合物压电薄膜[8]材料之一。作为一种聚合物材料，PVDF具有一些无机材料无法比拟的优势：PVDF化学稳定性高，耐酸碱腐蚀；制成薄膜后透光率高；生物兼容性好，和皮肤等软组织的粘附性较好。相对于其他压电材料，PVDF频率响应范围大，从 Hz到GHz的频率范围都能做出响应；压电常数高，相同应力输入下与其他材料相比有较高电荷输出，便于数据的采集和分析[9]。国内已有将FVDF用于压力测试的先例[10-11]。

文章采用国产压电薄膜，通过裁剪，边缘绝缘处理，导线引出[12-14]等流程制备了压电薄膜传感器；……