田 鹏，王丽红，安利营，闫冬成，李 青

(1.东旭集团有限公司，河北 石家庄 050021)(2.东旭集团有限公司 平板显示玻璃技术和装备国家工程实验室，河北 石家庄 050035)

1 前 言

玻璃基板是TFT-LCD面板的一个重要组成部分，虽在TFT-LCD面板成本中所占比例不高，但对产品性能的影响却十分巨大，比如分辨率、透光率、重量、视角等关键技术指标都与玻璃基板的性能密切相关[1]。TFT-LCD用玻璃基板采用不含钾、钠等碱金属元素的无碱铝硼硅酸盐玻璃，要求具有高应变点、较低的热膨胀系数和密度、较高的弹性模量、良好的化学稳定性、良好的耐热性，且要求高精度尺寸、无宏观缺陷、高精密的表面平整度，制造条件相当严格，因此玻璃基板制造技术难度相当高[2-4]。目前主要采用溢流下拉法生产高品质的TFT-LCD基板玻璃，通常采用铂金通道进行玻璃液澄清、搅拌、均化提高玻璃液品质质量[5， 6]。因为铂或者铂铑合金材料具有在高温状态下与玻璃的化学反应性较低的特性，所以这些金属或合金材料常用于高质量的化学玻璃、激光玻璃、液晶基板玻璃等的各种制造工序中[7， 8]。铂金缺陷是TFT-LCD基板玻璃的固有缺陷，在玻璃基板品质可控的范围内极少的铂金缺陷不影响玻璃品质。若玻璃中激发大量铂金缺陷则会严重影响玻璃品质甚至导致废品，部分产线铂金缺陷仍长期处于不可控状态，如何对铂金材料抗高温侵蚀能力进行测试和评估就成为有效解决产线铂金缺陷和延长通道使用寿命的关键。……