解宝成　崔贺新　张元　刘献礼

摘 要：微细电火花微孔加工技术是电火花加工领域的一个重要发展方向。在分析大量文献的基础上，系统地总结了微细电火花加工微孔技术的基础理论和加工工艺研究进展及应用现状，主要介绍了微细电火花加工的蚀除机理、蚀除产物排出机理、微细工具电极的在线制作、加工工艺参数的选择与辅助其他加工方法的复合加工工艺，分析了当前微细电火花微孔加工技术存在的问题，并展望其发展趋势。

关键词：微细电火花加工；微孔；基础理论；加工工艺

DOI：10.15938/j.jhust.2018.04.005

中图分类号： TG661

文献标志码： A

文章编号： 1007-2683（2018）04-0025-06

Abstract：Microelectrical discharge machining of microhole is an important developing direction of electrical discharge machining at present. In this paper， much literature about microelectrical discharge machining of microhole has been summarized and analyzed in the theoretical and experimental aspects. The basic theory and processing technology of the microelectrical discharge machining are introduced，including material removal mechanism and debris movement mechanism， onmachine production of micro electrodes， selection of machining parameters and combined machining technology. Furthermore， the main problems and the development tendency in the future also have been evaluated and summarized.

Keywords：microelectrical discharge machining； microhole； basic theory； processing technology

0 引 言

隨着产品零件向精密微细化方向发展，微孔（孔径小于0.1mm的孔）以独特的功能结构在航空航天、精密仪器和汽车制造等领域得到广泛的应用，如航空发动机高压压气机空气导管内的阻尼衬套、高压涡轮机前轴阻尼筒和后轴阻尼环、电子显微镜光栅、化纤喷丝板和汽车发动机喷油嘴等[1]。作为微细加工技术的重要组成部分，具有非接触式、无明显宏观作用力和“以柔克刚”等加工特点的微细电火花加工技术被广泛应用于难加工材料微孔加工中，解决了传统加工方法难以解决甚至无法解决的微孔加工难题，在航空航天、汽车、微机电系统、生物医疗等高端制造领域有着大量不可替代的需求与应用[2]。

随着日本东京大学生产技术研究所开发线电极放电磨削工艺，成功解决了微细电极的在线制作难题，为微细电火花加工技术得到快速的发展提供了有效的技术保障。……