杨闯 张盼

摘要：随着科技持续发展，汽车工业有了新的变化与发展需求，需要进一步提高传感器可靠性，要优化利用MEMS技术，科学设计汽车传感器可靠性，保证汽车高效运行的同时提升汽车电气系统MEMS传感器应用效益。

关键词：汽车；电气系统；MEMS；传感器；可靠性；设计；研究

在汽车生产过程中，汽车传感器设计是不可忽视的关键性环节，对汽车综合性能提升起到决定性作用。MEMS技术优势作用鲜明，要在多层次科学应用中设计汽车微型传感器，最大化提高经济性、节能性、可靠性，满足汽车运行中对周围环境的客观要求，在发挥MEMS传感器多方面作用中生产高质量汽车，实现汽车运行综合效益。

一、汽车电气系统MEMS传感器

MEMS技术就是微机电系统技术，属于多学科交叉的技术，和集成化、智能化紧密相连，MEMS技术是微型化与集成化的必要基础。MEMS技术日渐应用到传感器领域，比如，MEMS压力传感器。MEMS传感器是借助微电子机械加工技术，在一块芯片上设置微米级的信号处理器、敏感元件等，具有多样化的优势特征，成本低、高可靠性、使用寿命长等，在汽车传感器方面的重要地位不断呈现，微型化、智能化、功能化等已成为汽车传感器发展的必然趋势。微传感器的科学化应用能够提升汽车电气系统性能，也能优化汽车底盘系统、引擎管理系统等功能，但这必须保证汽车微传感器具有较高的可靠性。在此过程中，汽车电气系统MEMS传感器可靠性日渐成为微系统技术工程以及研究的重中之重。……