刘星倜

摘要：半导体气体传感器于1962年问世，在此后的三四十年期间得到迅速发展，尤其是随着纳米技术的进步，纳米半导体气体传感器引起人们诸多关注。本文旨在梳理纳米半导体气体传感器基本检测原理，并从灵敏度、选择性、响应速度三个方面对其发展脉络进行归纳总结。

关键词：半导体气体传感器；纳米材料；灵敏度；选择性

一、引言

随着人类环保意识的增强，环境污染物的检测变得愈发重要。有毒有害气体是重要的一类环境污染物，因此，发展灵敏快速的气体检测方法在工业生产和人类日常生活中具有十分重要的意义。

气体检测方法种类繁多，半导体气体传感器自20世纪60年代问世以来，由于其灵敏度高、响应速度快的优点，得到迅速发展。该类传感器作用原理是利用金属氧化物作为气敏材料，当金属氧化物气敏材料与被测气体接触时，其阻值将会随气体浓度变化而变化，从而将气体浓度信号转化为电信号。半导体气体传感器从制造工艺来讲可以分为以下三类：

1. 烧结型

烧结型半导体气体传感器是指将金属氧化物气敏材料制备完成后，涂覆在电极上，在一定温度下烧结、老化而成的半导体气体传感器。该类传感器利用陶瓷管作为半导体气敏材料载体，能够将加热回路和测试回路隔绝从而减小干扰。

2. 薄膜型

薄膜型半导体气体传感器是指将金属氧化物气敏材料覆盖在平面型的衬底片上所形成的半导体气体传感器。……