马擎

摘要：一个半导体代工厂的产能是工厂发展的关键因素，WPH是产能评估的重要指标。每小时加工晶元数量的峰值与实际能达到的数值是我们研究的目标。半导体代工厂的生产设备类型复杂，且功能也很复杂。随着机台数量和种类的增长，难以使用之前手工计算的方式来维护关键指标的更新。所以需要针对不同类型的机台逐一自动收集数据，制定合理算法，实现自动收集和调整WPH值。

关键词：计算机集成制造；设备自动化程序；WPH

一 WPH萃取的意义

对于一个半导体代工厂（FAB）来说，制程机台在整个工厂的成本体系中是最为重要的组成部分。生产设备的性能如何会直接影响到成本和利润，所以生产设备性能的提升一直是半导体代工厂最为关注的问题。使一个生产设备不浪费一分一秒，加工更多的晶元就要从分析机台目前运行流程入手。对于每种类型机台的分析，许多企业利用人工采集关于设备、产品等要素的数据，使得提高设备效率这一工作十分地繁琐，而且准确率不高。这样即无法使各类型的机台尽可能达到自己的最大理论产能，从而降低成本，提高利润。控制每一批料的正常加工流程，在对设备自动控制的同时，收集必要的数据，这些详细的机台处理数据作为数据源。针对每种机台找出合理的方法，实现对PeakWPH值（每小时生产晶元数量的峰值）的自动收集及调整，用以监控制程设备的利用率，并对生产数据进行监控及分析。……