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四川成瑞科技有限公司 王江城

0.引言

声表面波传感器是近几年新发展起来的一种微型传感设备，它在工作中是利用声的表面作为传感元件，将测量的信息通过声表面波器件的波速度或者频率来反应，并通过转换设备将传递的信号转化为能够输出的电信号。声表面波传感器的工作精度非常的高，可以应用于一些温度应力及其它形式的测量。为了保证变电站的工作温度检测能够更加的精确和稳定，利用声表面波传感器可以实现这一效果。声表面波传感器可以将信号集中在基片的工作中，此时其集中的信号敏感精度非常高，能够迅速且准确的将检测的信号转化为电信号传递出来，实时性和稳定性是其检测的特点。除此之外，声表面波传感器还具有微型及集成的输出优点，当前我国所能够生产的声表面波传感器包括了多种类型，因此，本文基于变电站的温度检测为出发，通过利用声表面波传感器的工作性能来对其温度进行检测，从而实现人们的预期目标。

1.声表面波传感器的工作原理

1.1 声表面波

声表面波是一种能够在固体的表面进行传输的波，在传输过程中具有很多种模式。目前人们所认可最广泛运用的波形是瑞利波，由于不同的类型表面在对波进行传送时具有不同的特性，因此利用该特点来制成现在的传感器可用于不同的场合探测。

1.2 声表面波传感器的结构类型

声表面波传感器的结构类型包括了两种，分别是延迟线型及谐振型。……