王兴海

（上海微电子装备（集团）股份有限公司，上海，201203）

1 背景技术

扫描反射镜在光电垂向位置测量系统中起到调制光信号的作用，可以认为是整个光电垂向位置测量系统的关键。截至目前，还未有一套独立的、成熟的、精确量化的测量装置，对扫描反射镜的性能进行测试。目前扫描反射镜的性能只能同分系统的性能耦合在一起进行判断，如果扫描反射镜存在问题，有可能到分系统测试阶段才能发现，造成了人力、物力、时间上的浪费。所以需要开发一套专用的测试装置。

扫描反射镜由镜座、反射镜片、转轴、磁铁、电磁线圈、铁芯，导线等组成。镜座提供扫描反射镜整体固定安装接口及安装固定基准，可以分为一体或分成几个装配组件；反射镜片对入射光束进行反射；转轴与反射镜片固定为一体，铁芯与转轴固定为一个整体；磁铁产生恒定磁场。

导线在电磁线圈通电后，贴近会产生磁性，并在磁铁磁场的作用下，根据磁铁同性相斥，异性相吸的原理使磁铁转动，并由铁芯带动转轴及反射镜发生相应的偏转；通过控制电磁线圈电流的大小，可控制反射镜转动幅度，通过控制电磁线圈电流方向，控制扫描反射镜转动方向；通过周期性施加不同方向的电流，就可以使得反射镜产生周期性的摆动。

2 测试方案

测试需求：

扫描反射镜的测试平台需求包括：振幅稳定性（≤0.02%）测试功能，频率稳定性（≤0.02%）测试功能，非扫描方向机械位置稳定性测试功能，数据自动采集、计算、分析的功能。……