摘 要：超纯水是工业生产上的重要用水，对其水质和水量有着严格的要求。通过采用西门子PLC和WINCC，作为超纯水生产装置的控制系统，大大提高了整套设备的自动化控制水平，减少了故障的发生，为产出高品质的超纯水提供了有力的保障。

关键词：西门子；PLC；WINCC；EDI；超纯水；上位机；下位机；控制系统

1.引言

超纯水是导电介质、胶体物质、有机物等含量极低的水，它是多晶硅后处理工段的重要用水，主要用于硅块和硅芯产品的清洗，以及生产过程中还原炉钟罩的日常清洗，其水质直接影响着硅产品的质量。为满足工艺对超纯水的高要求，整套控制系统必须具备稳定性高、抗干扰能力强、故障率低、易于开发等要求。为满足以上要求，本系统采用西门子PLC和Wincc方案，利用其软件易于编程组态、硬件可靠性高、通信扩展方便等优点，应用于整套超纯水的控制系统。

2.工艺流程

主要工艺流程包括EDI系统和超纯水系统。EDI装置是将离子交换树脂充夹在阴/阳离子交换膜之间形成EDI单元。EDI组件中将一定数量的EDI单元间用网状物隔开，形成浓水室。且又在单元组两端设置阴/阳电极。在直流电的推动作用下，通过淡水室水流中的阴阳离子分别穿过阴阳离子交换膜进入到浓水室而在淡水室中去除。超纯水系统主要由脱气膜、抛光阴床、过滤器等组成。脱气膜装置采用真空加吹高纯氮气的组合模式可有效降低水中溶解气体的含量（主要为溶解氧和CO2）。抛光阴床内装填超纯水专用UPW级抛光阴树脂（主要用于除水中的硼元素），经过抛光树脂处理后的水中硼元素的含量可接近ASTM标准要求， 基本满足终端水质对硼的要求。……