马宇丽

摘 要：MEMS加速度传感器计量检测技术已经成为计量检测系统中的主流技术，在社会各个领域实现了广泛应用。本文梳理了MEMS加速度传感器计量检测技术的概念及其发展脉络，并对近年来最新的研究进展进行综述。

关键词：MEMS加速度传感器；计量检测技术；研究进展

目前MEMS加速度传感器计量检测技术已经成为了检查微位移的重要检测手段和技术，特别是在航空航天领域和汽车领域已经发挥了重要作用。笔者在梳理已有学者的研究基础上，就未来的MEMS加速度传感器计量检测技术发展脉络进行探讨。

一、MEMS加速度传感器的研究概况

MEMS加速度传感器的研究与开发始于上世纪80年代初，采用MEMS和IC（集成电路）加工工艺生产。它吸收了多种学科的研究成果，具有集成电路系统的许多优点。近些年来，国内外很多科研机构与公司对MEMS加速度传感器进行了大量的研究工作，取得了许多研究进展。意法半导体、美国AD等世界著名公司，以及美国斯坦福大学、日本丰桥大学等科研机构都展开了MEMS加速度传感器的深入研究。日前，美国AD公司报道了一种新型三轴MEMS加速度传感器，该传感器采用单一质量块，价格低廉，平衡了消费者对性能和价格的需求。意法半导体推出一款全新数字信号输出三轴加速传感器LIS331HH，其最大测量值达到24g，相当于F1赛车在强劲刹车时产生的加速度的5倍左右，可在消费电子和工业应用中实现高精确度的测量。日立金属公司开发出目前业界最小的三轴MEMS加速度传感器，外形尺寸仅为2.5mm×2.5mm×1mm，质量为14mg。……