， ，，， ，(.，， 000； .， 000； .太阳能与建筑节能玻璃材料加工技术市， 000;.盛建材工程有限公司， 000; .， 0090)

1 前 言

随着建筑节能法规的强制实施及公众节能意识的增强，离线Low-E镀膜玻璃的用量在逐年增加，该类产品采用Ag薄膜实现低辐射效果，但由于Ag薄膜的金属属性需要利用透明介质膜层构成膜系，解决其附着力、耐环境、抗划伤等性能局限，同时需要通过各透明介质膜层与Ag膜层的光学匹配实现对产品光学性能及外观颜色的调控，以满足建筑设计要求。目前离线Low-E节能镀膜玻璃采用磁控溅射方式生产，能够生产最大宽度3300mm[1-2]，因此对膜层厚度均匀性提出了较高的要求。

为满足产品质量管控需求，离线Low-E镀膜生产线均配备有在线光学性能检测系统，用于监控产品玻面、膜面反射和透射光谱及颜色，若能利用在线光学系统测得的光谱数据分析介质膜层的厚度均匀性，将会在磁控溅射阴极安装调试及产品开发中具有重要的指导意义，因此本文将介绍依据膜面反射光谱、建立膜层柯西光学模型、基于遗传算法分析介质膜层厚度及折射率，以及结合各测量点颜色数据分析膜层厚度均匀性的方法。

2 光学模型

2.1 透明介质膜层特点

在离线Low-E膜系中常用到SiNx、SnOx、ZnOx、ZnSnOx、TiOx等透明介质膜层，这类膜层的厚度对实现产品的透光率、反射率和颜色等光学性能起到至关重要的作用[3]，在Low-E镀膜行业采用L*、a*、b*方式表示颜色空间，其中L*表示明度(Luminosity)，a*为横坐标，由正到负的变化表示颜色由红色变化至绿色；b*为纵坐标，由正到负的变化表示颜色由黄色变化至蓝色[4]。……