大视场光学显微技术的研究
2018-06-21崔新旭
长春理工大学学报(自然科学版) 2018年3期
崔新旭
(长春理工大学 光电工程学院,长春 130022)
近年来由于生物工程技术的迅猛发展,生物组织观察,医学制药,材料的结构、纯净度检验,器件表面的缺陷检测,微米级别测量,显微实时观察等等,都要求光学显微镜有更大的视场,这使得大视场显微镜的研究很有意义。
随着生产工艺,新材料科技的发展,成像探测器的单个像元尺寸不断变小。面积更大,集成总的像素数更多的成像探测器的生产制造已成为现实,这为大视场显微镜所成的放大像提供了面积足够大的成像接收装置。在选用CCD或CMOS等光电探测器件作为显微镜的像面接收器时,普遍选用视场数来定量表征物方线视场与放大倍率之间的关系。视场数等于物方线视场与显微物镜的放大倍率之乘积[1-3]。当成像探测器的尺寸确定后,光学显微镜的放大倍率越大,其物方视场越小[1]。一般视场数超过18mm就可以称之为大视场显微镜。目前国内著名的江西凤凰光学仪器公司生产的显微产品,视场数可达22mm,国外的Olympus生产的显微镜的视场数可达26.5mm[12]。在综合考虑了各种经典光学结构基础上,在此提出了一种新的实现大视场光学显微成像的方法:以双高斯变形结构为主体的光学结构来扩大光学显微镜的视场。当光学显微镜的视场变得很大时,各种像差将会比以往的光学系统复杂得多,这就增加了本次设计的难度。
1 设计指标的分析及成像器件选择
要设计具有较大视场的成像光学显微系统,必须有总面积较大且像素数较多的探测器与之相匹配,经查阅相关资料,得知现在的生产工艺水平,已经可以生产出如佳能EOS-5DS系列相机所用的成像探测器,它的尺寸规格如表1所示。……
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