代汉钢

[摘 要]对纳米技术的不断探索推进了MEMS传感器的发展，它比传统的传感器更加有优势，在以后的发展中也将会有很好的前景，各国家也纷纷加入了对其研发中。本文分析了MEMS传感器的技术特点，分析了当前的几种典型的传感器和应用，最后预测了MEMS传感器的发展前景。

[关键词]纳米技术；MEMS传感器；发展

中图分类号：TH-39；TP212 文献标识码：A 文章编号：1009-914X（2018）23-0393-01

随着MEMS技术的发展，MEMS传感器性能也在不断提升，并逐渐成为一些发达国家的战略性研究方向之一、MEMS传感器由于具备重量轻、体积小、灵敏度高、功耗低等优点，在很大程度上促进了其微型化、多个功能化、智能化、网络化的发展，正逐步占领传感器市场，并受到各领域的青睐。

一、MEMS技术特点

1.微型化：体积微小是MEMS件最为明显的特征，其芯片的尺度基木为纳米或微米级别。

2.多样化：MEMS的多样化主要表现在其工艺、应用领域以及材料等方面。

3.集成化：通过MEMS工艺，可以实现对功能、敏感方向不同的多个传感器的集成，形成微传感阵列或微系统。

4.尺度相应现象：因MEMS芯片尺度的缩小，对原有理论基础带来了较大影响，如力的尺寸效应、微摩擦学、微构造学、微热力学等，都需进行更加深入的研究。

5.批量化、MEMS器件与微电子芯片相似，可进行大批量生产且生产成本不高，有利于MEMS产品工业化规模经济的实现。

6.广义化：MEMS中的“机械”代表着所以能实现能量转化与传输功能的效应，而不是单一的机械力学内的机械，如力、热、光、生物、化学等。

二、当前的MEMS传感器和应用