周建辉 司新毅 及冲冲 余志永

摘 要：为了解决仿生机器人触觉传感器的弹性电极与导电橡胶的电接触的问题，从材料和结构两方面提出了相应的解决方案，并介绍了利用电子束蒸镀和等离子体处理技术进行弹性电极制备的方法。

关键词：弹性电极；导电橡胶；电接触

DOI：10.16640/j.cnki.37-1222/t.2018.08.146

觸觉传感器是覆盖于仿生机器人表面的关键部件，可以检测周围环境的压力、温度等各种信息。用于压力检测的压阻式触觉传感器是非常重要的一种触觉传感器，如何解决其弹性电极与导电橡胶的电接触问题是研究的难点之一[1-2]。所谓电接触，主要是为确保电路连续的电子/电气设备的载流元件和它们之间的界面。电接触的目的是实现电连接，只有建立良好的金属-金属接触才能达到这样的目标。弹性电极和与其接触的元件之间的电接触问题已有数十年的研究历史，本文中弹性电极基于银纳米线与PDMS制作而成，主要从接触电阻和磨损两个方面研究弹性电极与导电橡胶间的电接触问题，寻求改善电极性能并提高触觉传感器使用寿命和可靠性的方法。

1 弹性电极与导电橡胶电接触问题分析

接触电阻和电极磨损是银纳米线/PDMS弹性电极与导电橡胶电接触的主要问题。

1.1 接触电阻

接触电阻指的是电流通过元件接触点时在接触处形成的收缩电阻和膜电阻之和。经研究分析，接触电阻主要受下列因素影响：

接触件材料：规格相同的情况下，接触件的材质对接触电阻有影响。……