8数字微纳加工设备

【技术领域】 高端装备

【技术开发单位】 中国科学院光电技术研究所

【技术概述】 数字微纳加工设备是通过数字化控制空间光调制器实现像素级光场自由操控，利用高数值孔径投影物镜生成高分辨力图形，结合高速扫描工件台同步运动，实现大面积、高分辨力，任意微纳图形结构加工。

设备包括高均匀性照明系统、空间光调制器、高数值孔径物镜、检焦系统、精密扫描工件台以及高速并行控制系统等多部分组成。系统工作过程中，照明系统匀化准直后的光，照射到空间光调制器上，通过空间光调制器对光场进行像素化调制，使其形成各种不同图形分布，然后通过高数值孔径物镜成像到基片表面。扫描过程中，检焦系统对基片表面进行实时检测，并结合工件台多自由度同步运动，与掩模图形精密控制，实现快速、高分辨、大面积微纳图形加工。

【技术指标】 开发应用于大面积三维数字微纳结构加工的数字微细加工设备，包含表面三维微纳光刻、三维微立体增材制造两种系列产品，具体技术指标如下。

表面三维微纳光刻设备：1)横向加工分辨力为1 μm；2)纵向加工分辨力为1 μm；3)工件台运动速度为10 mm/s；4)横向加工面积为1～4 in；5)纵向加工高度为10 μm；6)缩小倍率为7.6倍；7)焦面检测精度为1 μm。

三维微立体增材制造设备：1)横向加工分辨力为25 μm；2)纵向加工分辨力为100 μm；3)横向加工面积为1 in；4)纵向加工高度为10 mm；5)放大倍率为2倍。

【先进程度】 国内领先

【技术状态】 小批量生产、工程应用阶段

【适用范围】 表面三维微纳光刻设备具备横向、纵向分辨力高、加工面积大的特点，主要应用于大面积表面三维微纳结构制造，具体可应用于微透镜阵列、大面积光栅、防伪微结构以及仿生复眼结构等的制作。

三维微立体增材制造设备具备纵向加工高度大、能够制作包括中空结构在内的任意三维结构，主要应用于精度要求相对较低(数十微米)的立体三维微结构制造，具体可应用于牙模及其他生物组织、光束整形器件等的制作。

【获奖情况】 无

【专利状态】 申请专利36项，授权17项

【合作方式】 合作开发

1)投资需求。寻求投资扩大产能，年产量在30～60台，资金需求3 000万元，实施周期24个月。

2)合作研发。PCB印刷电路、传感器、液晶、LED等上下游厂商及控股股东展开合作，共同开展系统研发或承接数字微纳加工专用设备研发。

3)技术服务。与各省市高新区、西部省区合作建设，在“中国制造2025”城市试点示范工作中成为智能制造试点示范工程。

【预期效益】 随着微纳器件广泛应用，对加工的效率、灵活性等提出了更高的要求。本设备通过构建数字化微纳加工系统，在无需掩模的情况下，实现任意结构、大面积高精度微纳结构加工，将极大的促进我国微纳加工行业的发展。

该设备能够完成目前市面绝大多数微纳结构加工，具有广泛的应用前景，可应用于PCB电路制版、液晶触摸屏、磁性薄膜等的任意形状的图案的形成，传感器，半导体器件的制作，MEMS器件的试制，光电子、LED的试制，微流体器件的试制，掩膜版制作，细胞分离通道等的制作，光波导路的制作等。

根据前期客户需求，年需求量在30台以上，直接销售额上千万元，将带来巨大的经济效益。

【联系方式】

联系人：赵立新

电 话：028-85101784/13568853630

9微波智能病死动物无害化处理设备

【技术领域】 新能源与环保

【技术开发单位】 中国电子科技集团公司第十二研究所

辽宁省海城市宝德畜牧设备制造有限公司

【技术概述】 该设备利用微波作为一种清洁、绿色、高效能源的特点，在加热、干燥、杀虫、灭菌、无害化处理等领域广泛应用，是高效、安全、环保的绿色废弃物处理新方法。此设备能实现对含有病毒、细菌等固体或液体物料，短时间内进行高效的广谱灭菌，全程自动化流水线式作业，一键启动；无需人工取放，处理过程以分钟为计算单位，效率高与传统高温高压设备比节能约20%，全程无废水、废气、废渣排放，工艺先进、易控制，无二次污染，占地小移动方便；处理后的物料可作为生物柴油、有机肥或做宠物饲料使用，真正做到无公害化处理。

【技术指标】 频率：(2 450±50) MHz；额定输入视在功率：≤40 kVA；微波输出功率：30 kW(可调)；环境温度：5～40 ℃；相对湿度：≤80%；传送带宽度：1 200 mm；传送速度：0.5～5 m/min。

【技术特点】 智能微波装备技术具有以下技术特点。

1)杀菌彻底化：光谱杀菌，杀菌彻底。经大量实验得出的技术参数验证了处理后的物料完全符合标准。

2)产品小型化：项目从产品设计上，根据中国养殖户实际需求，采取小型化设计理念，实现了传统方式不具备的小型化，占地面积小、占用空间少，价格不高于同类产品，减轻养殖户前期投资。

3)操作智能化：设备一键启动，全程自动化流水线式生产，生产线无人值守。

4)设备模块化：设备采用模块化设计理念，共设有前段破碎、中段高温杀菌、后段产成包装、配套减幅排风四大模块。设备易于安装，便于拆卸、利于管理。

5)能源低耗化：较传统方法处理时间短，设备运行能耗低，与传统设备相比节能约20%，有效降低了生产运营费用。

6)生产效率高效化：策波设备较传统方式可缩短时间几倍甚至十几倍，大幅度提高生产效率。

7)排放绿色化：处理全程零废物排放，不产生二次污染。全程在密闭环境下运行，无废水、废气及废弃物排放，真正实现无二次污染，符合国家生态绿色发展方向需求。

【先进程度】 国内独家

【技术状态】 小批量生产、工程应用阶段

【适用范围】 工业方向、农业方向、军用方向：病死动物无害化处理、农业废弃物微波无害化处理、粮食存储前杀菌烘干、玉米膨化转饲料工艺、微波土壤灭菌改良(消除土传病)、军用废弃物无害化处理、工业废弃物无害化处理、木材、竹制品烘干、精细陶瓷烧结、食品膨化、烘干、消毒、保鲜处理、医疗废弃物无害化处理等。

【获奖情况】

鞍山市科学技术研究成果

鞍山市科学技术进步奖二等奖

通过辽宁省经信委“新产品(新技术)成果鉴定”

《辽宁省动物无害化处理行业标准》起草单位

入选科技部“十三五国家重点研发计划重点专项项目”智能化农机装备

【专利状态】 公司拥有2项发明专利、6项实用新型专利；2项实用新型专利正在申请中。

【预期效益】 “动物无害处理”已作为我国政府强制性政策在全国进行实施推广(2014年10月国务院国办发[2014]47号《关于建立病死畜禽无害化处理机制的意见》)。拥有无害化处理设备是经营养殖厂的前置审批条件之一，其市场刚性需求强劲。

我国规模以上(1万羽)蛋鸡养殖户有25.6万户，规模以上(1万羽)肉鸡养殖户有16.2万户，规模以上(1 000头)生猪养殖户26.7万户，规模以上(100头)肉牛养殖户有12万户，规模以上奶牛(100头)养殖户有3万户。综合计算主要禽畜品种(蛋鸡、肉鸡、生猪、奶牛、肉牛)养殖户50万家以上(数据来源：中国畜牧兽医年鉴)，按法规要求，规模以上养殖厂都需要配备无害化处理设备，产品市场刚性需求强劲。本产品集源头化、小型化、低价化、环保化等优势可抢占市场先机。按10%市场占有率，其产品销量可达5万台以上，实现产值可高达45亿元以上。

【联系方式】

联系人：赵忠惠

电 话：14741234444/15641281888