李继承

摘 要：云制造（CMfg）是新一代面向服务的网络制造模式，能够为分布式用户提供集中管理的制造资源、能力和服务。在本研究中，会将CMfg应用到晶圆制造厂（wafer fab）中进行仿真。通过云服务供应商、软件供应商、设备供应商和晶圆厂的合作，提出几个CMfg服务来协助模拟活动，提升工厂竞争力。

关键词：云制造；制造模式；半导体；晶圆制造厂

中图分类号：TM23 文献标志码：A 文章编号：2095-2945（2017）30-0018-02

1 概述

半导体行业的竞争，尤其是动态随机存取存储器（DRAM）行业，正变得越来越激烈，在这个行业中生存是很困难的[1][2]。最近发生的一些事件突出了这个事实：2008年12月，台湾DRAM产业濒临破产；2009年1月，德国DRAM制造商Qimonda宣布破产；2012年2月，日本DRAM制造商Elpida申请破产保护。基于以上现实，本研究的目的是评估应用CMfg技术来增强半导体制造商的竞争力和可持续性的可行性。将晶圆厂模拟成云服务，作为一个例子来探讨CMfg如何提高管理晶圆厂的效率。

2 晶圆厂模拟成云服务（FSaaCS）

未来的CMfg将会面临六个问题，包括高速、远程工业控制系统、灵活性支持、商业模型、制造业中的云计算应用以及有效的实施架构[3]。从CMfg的制造业角度来看，通过重新分配机器来消除晶圆厂的瓶颈是一个可行的方向。

晶圆厂是一个庞大而复杂的系统，通常涉及数以千计的机器，这种系统的模拟是一项艰巨的任务。模拟晶圆厂步骤如图1。

其中，CMfg至少可以在以下几个方面发挥作用：

（1）准备和分析数据：云服务提供商使用他们的统计分析软件来响应用户的请求，从而提供此功能，所谓的“统计分析”是一种云服务（SAaaCS）。……