电子级超纯水中微量元素的测定

2017-11-01徐艳秋

化学与粘合 2017年4期

关键词：分析方法

徐艳秋

（辽宁省地质矿产研究院，辽宁沈阳110032）

电子级超纯水中微量元素的测定

徐艳秋

（辽宁省地质矿产研究院，辽宁沈阳110032）

在LCD、LED等显示器件行业经常使用电导率很高的超纯水对某些材料进行清洗。以往采用测定电导率水平的方式来评估水质，无法确定到某种有害的金属与非金属元素对LCD、LED等显示器件显色质量的影响。采用ICP-MS对电子级高纯水中二十余种元素进行分析，该方法检出限可以达到5.0×10-9，相对标准偏差（RSD）为2.955%～3.576%，分析结果准确可靠。方法的灵敏度高、稳定性好，较好地满足电子工业对电子级高纯水的测定要求，可以严格确定某些元素的指标限，从而更好地保障显示器的显示质量。

显示器；电子级高纯水；ICP-MS

前言

对于平板显示器（LCD、LED）等电子行业，类似于导电玻璃等电子原器件，要经过特种洗涤用品进行洗涤，最后用电子级超纯水进行反复清洗[1]。水中导电离子的残留量对显示效果影响很大。现工艺一般是采用电导仪测量水的电导率[2]，没有对导电离子的种类、数量进行控制。对于影响显示效果的导电离子进行分类，然后在纯水制备上控制这些导电离子的上限[3]，可以有效提高电子纯水的指标，进而提高显示器的显示效果。本文采用ICP-MS对电子级高纯水中二十余种元素进行分析，提交了分析数据，有效地解决了水中导电离子的残留影响。