银 鸿，杨生胜，郑阔海，文 轩，庄建宏，王 俊

（兰州空间技术物理研究所 真空技术与物理重点实验室，兰州 730000）

弱磁测量传感器的发展与应用

银 鸿，杨生胜，郑阔海，文 轩，庄建宏，王 俊

（兰州空间技术物理研究所 真空技术与物理重点实验室，兰州 730000）

弱磁测量技术在许多诸如生物医学、资源勘测、军事工程和空间探测等重要领域中占有不可或缺的地位，磁场测量也代表了国家磁测技术的发展水平。当前国内外弱磁测量主要用到质子磁力仪、光泵磁力仪、原子磁力仪、磁通门、SQUID、光纤磁力仪和磁电阻传感器，按照测量磁场的类型将其分为标量和矢量型，通过其基本原理、特性、研究和应用现状的分析，对其发展方向和应用前景进行了综述，为后续的理论研究和工程实践提供参考。

弱磁测量；磁传感器；灵敏度

0 引言

从磁场感应范围的角度出发，可以将磁场传感器分为三类：低强度磁场传感器、中强度磁场传感器、高强度磁场传感器。低强度磁场传感器又称弱磁测量传感器，通常被用来探测0.1 nT以下的磁场[1]，常涉及到军事领域、资源勘探、地震预警、科学研究、工业检测、医疗等方面。如军事上舰艇的消磁、探潜、鱼雷制导及卫星测距等用到弱磁测量仪器；航磁、地磁测量使用的是弱磁测量仪器；高精度的磁测仪器是资源勘查的主要设备；生物医疗工程中如核磁共振CT、肺磁、胃磁和脑磁的诊断离不开弱磁测量仪器。弱磁传感器技术在很大程度上代表了国家磁测技术的发展水平，是当今高新技术的一个热点[2]，分析当前弱磁测量传感器的发展与应用状况，研制高性能、小型化、低功耗、低成本的弱磁测量传感器，对我国国防建设等领域的发展具有重要意义。……