彭建中++甄娟

摘 要：LCD液晶显示屏具有高分辨率、厚度薄、重量轻、低能耗、长寿命、无辐射的优点。随着窄边框LCD液晶显示屏的出现，使LCD液晶显示屏的无缝拼接成为可能。彩色滤光片（Color filter）是一种表现颜色的光学滤光片，它可以精确选择欲通过的小范围波段光波，而反射掉其他不希望通过的波段。它是TFT-LCD面板中形成彩色化必不可少的部件。另外，还需透过彩色滤光片的红（R）、绿（G）、蓝（B）三种彩色层提供色相，形成彩色显示画面。作为新型平板显示器（TV）的核心组件，伴随用户需求的不断提高，液晶产品的尺寸越来越大，大尺寸显示屏画面更加清晰细腻，液晶大屏幕拼接技术相继出现，更大程度满足了用户的个性化需求。本技术改善了接近式曝光机因掩模板的绕曲度问题无法对应大尺寸产品，彩色滤光片厂商不得不采购价格昂贵的扫描式曝光机的传说。它采用多Shot拼接曝光，完成大于MASK尺寸的彩色滤光片，是拼接曝光工艺的成功实例。解决了低成本接近式曝光机不能使用大尺寸光罩Mask制作大尺寸彩色滤光片的瓶颈，这样大大地降低了设备采购成本。

关键词：拼接技术；TFT-LCD；接近式曝光机；CF（彩色滤光片）成本；曝光工艺

中图分类号：TP274.3 文献标志码：A 文章编号：2095-2945（2017）29-0018-02

绪论

用一张小于Panel尺寸的MASK，经过多次拼接曝光完成一个大尺寸的Panel。目前多家TTF-LCD制作工厂，为了降低设备构入成本，都采用接近式曝光机，此类曝光机无法对应大尺寸MASK光罩，掩模板重量的绕曲度问题，只能采用小尺寸MASK，一Shot曝光无法对应一个完整的Panel，它必须采用多Shot拼接曝光，完成大于MASK尺寸的Panel的彩色滤光片，即称之是拼接曝光工艺。……