曹艳芬,宋庆军,闫 凯

浅析电镀金刚石线在切割硅材料中的应用

曹艳芬,宋庆军,闫 凯

(济宁半导体及显示产品质量监督检验中心,山东济宁 272000)

电镀金刚石线在硅材料切割中应用广泛,但国内技术工艺尚不成熟。文章就电镀金刚石线锯的工艺技术、结构,切割后硅片的处理等方面进行了综述,分析了国内电镀金刚石线锯切割的应用现状和发展前景。

电镀金刚石线；切割；硅材料；应用现状

1 前言

硅材料是目前最主要的光伏材料,具有熔点高、硬度大、有脆性、化学性质相对稳定的特点。目前可做太阳能电池材料的硅材料包括单晶硅、多晶硅、非晶硅。然而单晶硅、多晶硅材料都属于硬脆材料,加工难度大,材料成本高,加工表面质量要求高。硅材料的应用需经历截断、开方、切片等多种切割加工工序,加之随着科学技术的不断发展,硅片制造技术向直径越来越大、厚度越来越小、需求量越来越大的方向发展,因此完善硅材料的切割技术就显得尤为重要。

行业内对硬脆性材料的切割主要有以下要求 :高效率、低成本、窄切缝(材料利用率高)、损伤小、对环境污染小[1]。而目前电镀金刚石切割线广泛应用于硅材料切割中。避免切割过程中材料的损伤、提高材料的成品率是切割硅材料等硬脆材料的难点。本文主要综述通过改变电镀金刚石切割线的制备工艺、结构等方式克服切割的难点,分析了电镀金刚石切割线在硅材料切割中的应用现状,并对金刚石切割硅材料的前景进行分析。……