罗欣

（陕西省西安法拉电气有限公司，陕西 西安 710304）

半导体设备预测性维修技术分析

罗欣

（陕西省西安法拉电气有限公司，陕西 西安 710304）

多年的调查分析研究表明，预测性维修技术是维修领域近年来研究的重点对象，对其关注度逐渐提升。本文从预测性维修技术出发，首先分析故障后维修和预防性维修以及预测性维修，对三者的不同点和相同点及各自的优缺点做了相应的论述。近年来的半导体设备主要都是流水线作业生产，因此在流水线生产的过程中，只要有其中任何一台设备出现问题或发生故障，流水线作业的中断都会使整个作业过程中断，给公司或企业带来经济损失。

半导体设备；故障后维修；预防性维修；预测性维修；技术分析

随着现代科学技术的不断发展，设备制造技术也越来越先进，设备自身构造也越来越复杂。因此使得半导体设备的维修技术面临着前所未有的挑战，也对半导体设备维修人员的专业知识提出了更高的要求。本文主要对半导体设备的故障后维修和预防性维修以及预测性维修技术进行了相关的分析，由于预测性维修技术作为维修技术中心新方向，也成为一种新型的维修方式，相对于传统的其他维修方式，有更多的优点和可取之处，从长远角度来看其发展的空间和实用性还是比较大的。

1 维修方式的发展

按照半导体设备的运行状态和维修的时间，从维修方角度的方式出发，在故障前进行了维修，属于故障前维修，在故障后进行维修，属于故障后维修。如果从维修所使用的依据的角度出发，可以将故障前维修分为预防性维修和预测性维修。

故障后维修主要是指的事后维修，主要是在故障发生之后存在故障的情况下才有维修的这个过程，主要维修依据是设备是否正常运作或者设备是否整体完好，如果设备遭到损坏之后再维修并不属于修复性维修，这种属于因为不在原定计划范围内的维修，因此叫做非计划性维修。

1.1 预防性维修的概述

预防性维修主要指的是以一段时间或者一段时间的时间间隔为维修依据，定时对机器进行检修，也就是定时进行预防性维修，其检修的间隔时间的设置可以参照相关企业的生产计划，企业经验和具体的生活环境等等因素，这些问题都可以请教专业的维修技术人员，大部分企业主要是根据和企业相关的生产计划和丰富的生产经验，按照规定的时间间隔进行维修，应经常更换一些容易受到磨损的小零件，来防止由于小零件带来的小问题而使得整个生产线停产整顿等危害事件的发生和损失的进一步扩大，导致机器设备的损坏。从目前的情况来看，这种维修方法还是目前维修技术中比较先进和常用的方法，也就是我们在日常生活中所说的以不变应万变采用的计划维修和定期维修，根据具体情况的不同，可以设置成不同程度的，比如大修、小修和中修等不同的修理情况。

1.2 预测性维修的概述

预测性维修主要是以工作状态和机器的运转状态为依据，对机器设备进行实时监控，并且当机器在正常工作状态下运行时，对它的主要技术参数作出测量和相关参数的记录，当发现问题时，可以对机器设备的状态进行监测，然后请相关的专业技术维修人员进行相应的故障排除与诊断，不仅可以判定设备当前所处的工作状态是否处于正常状态，还可以预测一段时间以内设备状态的未来趋势。预测性维修不仅不需要定时定期的对于相关的机器设备进行检查，还仅仅只需要做好对工作机器设备状态的监测和故障诊断以及故障排查与修复，并且根据所出现的问题，有针对性的提出维修的解决方案后，将措施真正的进一步落实，故障排除和故障维修融为一体，这是一种非常新型的维修技术运作方式。

1.3 预测性维修的意义

预测性维修不同于传统的维修方式，在对半导体设备进行管理时一个非常重要的环节，虽然在某种程度上来看，目前它并不能取代定时和定期维修，但是目前可以通过对其工作状态的监测，提前了解相应的资料和工作说明。

这种监测和实时监控的模式对于流水线作业的产品来说还是非常有必要的，因为在正常的生产过程中，只要某个失误或者不确定因素造成这个设备无法使用时，只要有一台工作设备出现故障，那么整个生产的过程就需要停止并检查出问题所在，只有在排除故障之后，方可正常运行，在定时定量的更新设备的同时，也要注重实时监控技术，对于比较重要的关键设备可以进行实时监控，选用预测性维修，就可以贯彻执行并落实预防性维修维护的依据和范围。从内部断绝隐患从而避免对半导体设备造成本身的损失。

对半导体设备进行实时监控，不仅有利于现代设备维修，符合生产流水线的要求，并且可以逐步减少故障率，大大减少了新的培训维修的费用，这样更有利于大家贯彻执行预防性维护技术的基础对策和措施。

2 半导体设备维修管理模式建议

首先是坚持预防为主，防治结合的原则，从根本上断绝设备事故出现的概率，最大限度的减少设备故障的发生可能性。

其次是建立较为完善标准的文件，从设备技术到技术保护的标准。

再次就是需要有关部门建立健全并完善相应的法律法规，使维修性技术能够得到大幅的提升，而不是游走在法律的边缘。

此外，还需要相关管理人员明确管理目标，树立正确的观念，坚持全面协调可持续发展，在坚持安全第一的前提条件下又好又快的发展经济。

最后是可以对于生产过程中的流水线上一些关键的设备设置监控和检测，监控并检测对于可能存在的需要使用的数据，例如温度、压强真空、电流、电压等一系列的设备参数，可以通过监控来及时有效、准确无误的把握整个流水线生产过程中的每一台机器的运作情况，因此从这个角度来看，预测性检测还是非常有帮助的。相关管理人员和相关专业人士更要及时对系统存在的问题进行相应的排查。

3 半导体设备预测性维修分析

从目前的情况来看，预测性维修主要是通过实时的监控，并根据状态监测进行调整，相关监控设备主要是根据所设定的时间来定期或连续不断的对设备进行状态监测，以期来保证机器的正常运作和整个生产流水线过程的适应性。如果出现问题就会发出警报；如果发出警报，说明流水线作业的某一环节出现了问题，这就需要相关技术人员及时查清故障发生部位，设备是否运行正常，有无相关故障，或是否存在故障的发展趋势和潜在问题，根据实际具体的情况再适当的安排维修情况。

首先要对流水生产线上的每一台设备都制定设备台账账本，记录每一台设备的故障原因的发生时间，持续时间，维修方法以及维修结果，这样就如同医院看病的病历，保持对过去记录的备录在案，这样能帮助我们又快又好的找到故障设备的故障和问题存在。第二，要对设备正常工作运转时的相关动态参数加以记录，例如波动范围，对于压力、压强的控制等等，需要每天有专职人员对其进行检查并记录在案。根据每天的巡查和记录，我们需要了解的是故障诊断是指不定期或者是值得记录的相关重要设备进行状态监测，并将有关结果记录在案。根据其结果确定设备有无状态异常或者故障趋势，然后相关技术人员和专业人士对数据进行分析和处理，并对可能出现故障的设备加以维修，这不仅仅提高了工作上的效率，还大大节省了时间，一举两得。相关维修技术人员也需要充分的了解他们的专业知识，应该查清故障设备的内部运转情况并发现问题，有针对性的对所提出的问题进行相应的改变，维修好之后也要及时考虑如何加强防范措施并且加以总结反思，记录在案，这样也是对维修工作的极大帮助。

4 结语

仅仅依靠人工来对设备进行故障分析和故障排查，不仅消耗了大量的人力物力，而且由于人工监控存在不连续性和不准确性，可能遗漏一些重要的参数。如果要对半导体设备预测性维修，做到真正实际科学的监控，还需要科学技术进一步的支持和帮助，利用科学技术设备来对生产流水线上的主要设备进行实时监控，保证生产生活的顺利进行，并且要时刻保持对先进科学技术发展的关注，为我国半导体设备的预测性维修技术作出应有的贡献。

[1]艾恩溪．解读集成电路产业发展推进纲要畅谈发展大计[J]．集成电路应用，2014(12)．

[2]电力设备维修诊断与预防性试验[M]．北京：中国电力出版社，2014

[3]预测性维修原理及其应用[J]．化工机械，2006．

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1671-0711（2017）09（上）-0068-02