张 娇，李政晏，孟广伊，杨晓红，李双美，王为民，江 翠，吉晓瑞

(1.沈阳工程学院 基础教学部，辽宁 沈阳110136；2.东港市第三中学，辽宁 东港118300)



磁控溅射法制备TiO2薄膜的亲水性研究

张 娇1，李政晏2，孟广伊1，杨晓红1，李双美1，王为民1，江 翠1，吉晓瑞1

(1.沈阳工程学院 基础教学部，辽宁 沈阳110136；2.东港市第三中学，辽宁 东港118300)

利用磁控溅射法在不同条件下制备了玻璃基TiO2薄膜样品，分别研究了衬底温度、工作气压、氧氩比等对TiO2薄膜亲水性的影响，得到最佳工艺参数，并对此参数下薄膜的亲水性、均匀性、晶相等进行了表征。

TiO2薄膜;磁控溅射法;润湿角;亲水性

在TiO2的众多特性中，亲水性和光催化性是应用最广泛的性能。随着环境污染的日益加剧以及对环保材料要求的提高，人们对绿色环保、自动清洁、简约美观的材料需求与日俱增，而自清洁玻璃的诞生，恰恰满足了人们这一需求。

TiO2晶体的锐钛矿结构具有显著的亲水性和光催化性，所以只有得到锐钛矿结构的TiO2薄膜，才具有亲水性，才能应用到自清洁玻璃上。TiO2薄膜的制备方法有溶胶-凝胶法、磁控溅射法、化学气相沉积法、液相沉积法、脉冲激光法等多种方法。但是各种方法均有不足：溶胶-凝胶法和化学气相沉积法制备的薄膜膜厚不均匀[1]、机械耐久性不够[2]；磁控溅射法沉积速度慢、成本高。在这些制备方法中，对于溶胶-凝胶法和磁控溅射法的研究和应用最为广泛。因此，采用磁控溅射法得到最佳工艺参数后，对所得的TiO2薄膜的亲水性、均匀性及晶相等做测试表征，其中，薄膜的亲水性通过润湿角表征[3]。……