杨 波,倪江利

安徽三联学院基础实验教学中心，合肥，230601



微角度测量系统中的影响因素分析

杨 波,倪江利

安徽三联学院基础实验教学中心，合肥，230601

结合自混合干涉效应的原理和直角棱镜的特点，在所提出的能满足宽范围、高分辨率的微小角度测量系统的基础上，通过更换不同边长的直角棱镜，对比分析了边长对角度测量的影响,给出了利用不同边长的直角棱镜进行测量时的基本理论分析和数值模拟结果，得出了通过选择较长边长的直角棱镜可以进一步提高测量分辨率的结论，为下一步系统地优化和改进奠定了基础。

微角度；直角棱镜；边长；自混合干涉

随着稳定的光电技术的发展，光学测角技术由于具有高灵敏度、高分辨率等优势，越来越广泛地应用于各个领域。目前，最常用的光学测角法主要是全内反射法、环形激光器法和激光干涉法[1-3]。其中，基于传统的双光束激光干涉测角技术的精确度虽然高，但是干涉装置笨重、复杂，并且不易准直[4-5]。自混合干涉测量技术被广泛地应用于许多场合，包括对目标物位移[6]、振动[7]、速度[8]和距离[9]的测量。在自混合干涉测量技术中，激光器输出的激光经外界物体反射或散射后会重新进入激光谐振腔内，从而产生自混合干涉现象。与其他干涉方法相比，自混合干涉测量技术采用单一光路，实验装置更简单，并且具有稳定性良好和低成本等优点，因此更适用于微角度的测量。

目前，已提出的基于自混合干涉的微角度测量方法主要是利用旋转平面镜测量转过的角度[10-11]。……