高 嵩，乐 昀，刘皖南，邱长春

(大连中鼎化学有限公司，辽宁 大连 116023)

·应用技术·

氢中杂质对钯管纯化器寿命的影响及脱除方法

高 嵩，乐 昀，刘皖南，邱长春

(大连中鼎化学有限公司，辽宁 大连 116023)

研究了导致钯管氢气纯化器钯管破裂的原因，着重叙述了采用预处理纯化器等方法大幅度延长钯管使用寿命、保障产气纯度的效果。

钯管；氢气；纯化

0 引言

钯管氢气纯化器在LED、大规模集成电路等领域有着广泛的应用。钯管纯化氢的原理是，在300～500℃下，把待纯化的氢通入钯管的一侧时，氢被化学吸附在钯管壁上并解离成氢原子，氢原子与钯原子形成合金型氢化物，氢原子占据金属晶格中的空隙位置，也称间充型氢化物。在浓度梯度的作用下，氢原子可在钯管壁中扩散，通过钯管后重新形成氢分子脱附析出，故可利用钯管获得高纯氢。钯管纯化后的氢气是非常纯净的，杂质含量基本都能保证在1×10-9以下，完全可以满足晶圆等电子产品生产需求。

由于纯钯的机械性能差，不能用纯钯作透过膜。在钯中添加适量的IB族和Ⅷ族元素，制成钯合金，可改善钯的机械性能。目前应用的钯合金中，银约占20%～30%，其他成分(如金等)的含量<5%。

目前，一般电子厂商采用的钯管纯化器均为进口产品，包括日本JPC、英国Johnson matthey、美国SAES等品牌。

1 钯管的损坏原因

钯管的原理和结构特点也决定了其在使用中易发生损坏，其中原料杂质超标、钯中毒、温度波动等是钯管发生损坏的主要原因。

1.1 原料气中水、氧含量高