徐慕华，王建让

(1.LDetek北京代表处，北京 丰台100068； 2.邯郸钢铁集团，河北 邯郸 056015)

PLASMADETEK-PED等离子发射气相色谱仪在半导体工业的10-9级气体分析应用

徐慕华1，王建让2

(1.LDetek北京代表处，北京 丰台100068； 2.邯郸钢铁集团，河北 邯郸 056015)

等离子发射检测器(Plasma Emission Detector)是一种应用于气相色谱仪的新型检测器。等离子体(plasma)不是一种新技术，早在20世纪30年代已经产生，到20世纪70年代随着电子和材料科学的发展，等离子体技术取得了较大的发展，在基础工业和高科技领域获得了广泛的应用。PlasmaDetek是一种超高灵敏度的检测器，可以很好地解决一般高纯气体或者混合气体的微量痕量分析，加拿大LDetek仪器公司团队经过近20年的探索，Plasma在特气和半导体气体方面也得到了越来越广泛的应用，并且取得了非常好的效果。

等离子发射检测器；等离子体；气相色谱仪；滤光片；超高灵敏度

0 引言

在特种气体和超高纯半导体气体领域，特种气体的特殊性质以及痕量分析的高要求使得广大用户在购买分析设备的时候非常谨慎，既要考虑到安全性，又要确保分析数据的准确性。PlasmDetek是一种超高灵敏度的通用型检测器，一个检测器可以实现多种杂质的分析检测，如对H2S，COS，AsH3，PH3，NMTHC，Ne，Ar，N2O，SF6，CF4等杂质的分析。由于PlasmDetek具有光谱滤光系统，结合切割技术，可以很好的实现0.5×10-9～5×10-9的检出限。

PLASMADETEK-PED检测器通常使用高纯Ar作载气，一般检测杂质含量在0.05×10-6以上的样品可以使用高纯Ar作载气即可满足检测需求；在检测50×10-9以下级别的杂质时，需要用高纯He作载气，这样，仪器的使用成本就会大幅度的降低，得到了客户的广泛认可。……